簡(jiǎn)要描述:LX-70低溫冷卻循環(huán)器泵對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:?jiǎn)尉磧艮D載、印刷機、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細介紹
品牌 | 冠特制冷 |
---|
LX-70低溫冷卻循環(huán)器泵對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:?jiǎn)尉磧艮D載、印刷機、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。
LX-70低溫冷卻循環(huán)器泵技術(shù)參數:
型號 | LX-10 | LX-25 | LX-40 | LX-70 | LX-10A | LX-145 | LX-20A | |
溫度范圍 | -25.0~40.0℃ | |||||||
溫控精度 | ±1℃ | |||||||
制冷量 | 20℃ | 1000W | 2500W | 4000W | 7000W | 10000W | 14500W | 20000W |
0℃ | 700W | 1500W | 2400W | 4000W | 7500W | 10000W | 15500W | |
-20℃ | 300W | 550W | 800W | 1500W | 3500W | 5000W | 7300W | |
泵流量 | 20L/min 1.5bar | 50L/min 1.8bar | ||||||
安全保護 | 具有自我診斷功能;冷凍機過(guò)載保護;高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能 | |||||||
冷卻方式 | 水冷或風(fēng)冷 | |||||||
溫度探頭 | PT100 控制外圍設備 | |||||||
加注冷媒 | R404A | |||||||
整機重量 | 75kg | 90kg | 110kg | 135kg | 165kg | 195kg | 240kg | |
電源 | AC 220/380V 50/60HZ |
產(chǎn)品咨詢(xún)
電話(huà)
微信掃一掃